文件名称：在曲面玻璃基板上沉积高反射率的硅基多层涂层
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文件格式：PDF
更新时间：2024-05-28 20:37:17
反射率; 磁控溅射; 高反膜; PDP; 曲面
本文提出并初步实现一种提高等离子显示面板(PDP)出光率的多层干涉型反射膜,其中高折射率材料采用金属诱导多晶硅,低折射率材料采用二氧化硅,并通过实验得到了可见光波段平均反射率为80%的平面高反膜。实验中采用半圆管替代实际PDP中的障壁结构,并且通过蒙特卡罗方法分析了粒子在磁控溅射中沉积到半圆管壁上的过程,得到了薄膜在样片不同圆心角处的厚度分布。模拟实验表明改善膜厚均匀性的主要途径是提高溅射气压。通过简易可靠的反射率测试系统,在红光波段对曲面上的薄膜进行了反射率测量,初步证明所提结构和制备方法的可行性。在0.7 Pa的气压下,溅射沉积得到的样品的反射率为50%～65%。