颗粒硅带上薄膜太阳电池的研究 (2001年)

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文件名称：颗粒硅带上薄膜太阳电池的研究 (2001年)
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更新时间：2021-05-25 04:11:38
自然科学 论文 采用颗粒硅带(SSP)作为衬底,利用快速热化学气相沉积(RTCVD)方法外延多晶硅薄膜并制作了转换效率达6. 36％的薄膜太阳电池。对衬底特性、电池制作工艺、存在问题及进一步的研究方向做了探讨。