PVr-用于光学表面规格的稳健幅度参数 Zygo Christopher J. Evans

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文件名称：PVr-用于光学表面规格的稳健幅度参数 Zygo Christopher J. Evans
文件大小：841KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-05-26 09:38:53
PVr 光学检测 光学设计 面形误差 Zygo Christopher J. Evans, "PVr-a robust amplitude parameter for optical surface specification," Opt. Eng. 48(4) 043605 (1 April 2009) CSDN原文：https://blog.csdn.net/Loveoptics/article/details/124978185 1. PVr - 一个用于光学表面规格的稳健振幅参数 Zygo：PV（峰谷差）值在光学设计和制造中是根深蒂固的。现代干涉仪通常使用1k×1k分辨率的传感器，仅用相机上的两个点（峰谷）来表达测量结果可能不是很到位。PVr是一个新提出的稳健振幅参数，它结合了36阶Zernike拟合的PV值和残差的均方根。PVr对结果提供了自动过滤，对系统分辨率不敏感，并与成像性能直接相关（通过Marechal判据）。建议使用PVr来代替PV。 2. 什么是面形误差PVr？ PVr的计算方法为：