文件名称：基于DSP的激光外差干涉信号处理方法 (2011年)
文件大小：206KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-17 01:43:51
自然科学 论文
描述激光外差干涉测量的原理,设计基于DSP的激光外差干涉信号处理方法,用DSP的捕捉单元获取 参考信号和测量信号的上升沿时间差,在捕捉单元中断中计算测量信号周期,由DSP将时间差转化为相位差并得出 被测位移。采用信号发生器模拟两路输入信号,在0～360°范围内进行相位差测量实验,测量结果表明标准偏差为 0 .041°、线性拟合相关系数为0 .99989。以20 nm为步长在0～320 nm范围内进行位移测量实验,实验结果表明标 准偏差为2 .46 nm、线性拟合相关系数为0 .99971,验证了所设计的信