文件名称：基于CPLD的激光合成波长干涉信号处理方法 (2010年)
文件大小：3.14MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-12 17:07:15
自然科学 论文
介绍了激光合成波长干涉纳米位移测量的原理,设计了基于复杂可编程逻辑器件(CPLD)的激光合成波长干涉纳米位移测量信号处理系统,包括信号前置处理电路的设计和CPLI)信号处理模块的设计。采用VisualBasic自带的MSComm控件实现了PC机与CPLD之间的通信,对实验过程进行了实时监控。在恒温恒湿条件下,分别以5nm和10nm为步长进行了位移测量实验,实验结果表明：在测量镜移动0-200nm范围内,测量结果线性相关系数分别为0.9991和0.9998,标准偏差分别为1.85nm和2.54nm,验证了所