激光外差干涉非线性误差的测量方法 (2010年)

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文件名称：激光外差干涉非线性误差的测量方法 (2010年)
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更新时间：2021-05-26 01:18:57
工程技术 论文 为了调整激光外差干涉光路中的光学元件，减小或抑制测量非线性误差，研究了非线性误差测量的机理和方法．基于对激光外差干涉测量信号的频谱分析，提出了非线性误差的测量方法．根据建立的非线性误差与测量信号幅度之间的模型，计算出非线性误差一次谐波和二次谐波的大小，实现非线性误差的精确测量．实验结果表明，该方法可以有效地测量激光外差干涉的非线性误差．