文件名称：激光外差干涉非线性误差的测量方法 (2010年)
文件大小：289KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-14 19:05:37
工程技术 论文
为了调整激光外差干涉光路中的光学元件，减小或抑制测量非线性误差，研究了非线性误差测量的机理和方法．基于对激光外差干涉测量信号的频谱分析，提出了非线性误差的测量方法．根据建立的非线性误差与测量信号幅度之间的模型，计算出非线性误差一次谐波和二次谐波的大小，实现非线性误差的精确测量．实验结果表明，该方法可以有效地测量激光外差干涉的非线性误差．