文件名称：基于相关拟合校准技术的MEMS平面微运动纳米精度测量 (2009年)
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更新时间：2024-06-07 06:39:44
自然科学 论文
微电子机械系统(MEMS)谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数为MEMS器件的设计提供重要参考。提出一种基于相位相关技术的亚像素运动估计算法,可对相关拟合方法进行误差校准补偿,从而提高对物体运动的分辨力,实现纳米精度测量。利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析,得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度-相位曲线。利用扫频测量原理,获得了MEMS器件的幅频特性。实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量分辨力优于5.nm。