基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量* (2008年)

【文件属性】：

文件名称：基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量* (2008年)

文件大小：185KB

文件格式：PDF

更新时间：2024-05-15 14:03:50

工程技术 论文

摘要：针对微小结构几何量测量的需求，通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上，完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的