文件名称：基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术 (2007年)
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更新时间：2024-05-30 06:35:00
自然科学 论文
为了对微机电系统（MEMS）的机械动态性能进行测试，结合自动调焦、机器显微视觉和频闪照明成像等多项技术，设计了基于自动调焦显微视觉的MEMS动态测试系统，可进行MEMS平面运动和离面运动的测量。该文介绍了系统的设计组成和关键技术，并针对系统做了验证性实验。实验结果表明，平面亚像素位移算法的匹配精度可达1/50个像素，在系统25倍的放大倍率下，平面刚体运动测量分辨率达到7.2nm×8.3nm；自动调焦过程迅速，焦平面定位精确，离面运动测量分辨率达到0.1μm。