论文研究-基于显微图像处理的MEMS器件运动轨迹获取 .pdf

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文件名称：论文研究-基于显微图像处理的MEMS器件运动轨迹获取 .pdf

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更新时间：2022-09-04 08:24:49

MEMS

基于显微图像处理的MEMS器件运动轨迹获取，赵新，郭春艳，MEMS的运动测量始终是MEMS研究中的难点，基于显微图像处理的测量方法是一种既直观，又简单有效的方法。本文以微加速度计为例，首先�