磁控溅射司太立合金薄膜 (1993年)

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文件名称：磁控溅射司太立合金薄膜 (1993年)

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更新时间：2024-05-16 02:04:00

自然科学 论文

本文简述了磁控溅射技术，并就司太立合金沉积形成的薄膜进行了形貌、组成以及显微硬度的分析和测量。