不同碳源对金刚石薄膜制备的影响 (2007年)

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文件名称：不同碳源对金刚石薄膜制备的影响 (2007年)

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更新时间：2024-06-02 00:40:31

自然科学 论文

采用等离子辅助热丝化学气相沉积(PAHFCVD)装置，分别用甲烷和乙醇为碳源进行了金刚石薄膜的制备。并运用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试手段对沉积的金刚石薄膜进行了观察分析。结果表明，用乙醇制备的金刚石薄膜比甲烷制得的金刚石薄膜的生长率要高，膜的缺陷少、颗粒均匀。