文件名称：稀薄气体流动特点及研究现状分析 (2005年)
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更新时间：2024-06-06 01:23:01
自然科学 论文
随着航空航天技术以及微电子机械系统(MEMS)的发展和广泛应用，稀薄气体流动的研究越来越被重视。稀薄气体流动中涉及到稀薄效应问题，在传统流体力学中可忽略的一些影响因素，比如表面力，面容比，梯度参数效应等变得重要起来。由于尺度效应、表面效应等因素的影响，稀薄气体流动表现出自己的特点：流动涉及的表面积与体积之比增强、梯度参数效应，表面效应，流体极性等。针对微电子机械系统，对稀薄气体流动的研究现状进行了综述，并对其特点进行了分析。