溅射沉积铝合金基C rTiAlN涂层的结构、力学以及摩擦学特性 (2011年)

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文件名称：溅射沉积铝合金基C rTiAlN涂层的结构、力学以及摩擦学特性 (2011年)
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更新时间：2021-05-25 07:51:26
工程技术 论文 采用反应非平衡磁控溅射技术制备出一系列LY12铝合金基CrTiAlN多层涂层,并通过X射线衍射仪、纳米压痕仪以及多功能摩擦磨损测试仪来研究CrTiAlN涂层的结构、力学以及摩擦学特性。结果表明:CrTiAlN 涂层为以TiN0.9和CrN为主要组织取向的FCC结构,N2水平和衬底负偏压对涂层的力学特性和粘附强度有显著的影响。经过优化参数,在衬底偏压55V和中N2水平条件下,CrTiAlN涂层的结合强度为10 N,显微硬度达到29.87GPa。