文件名称：CrCN涂层在不同沉积温度下的摩擦学性能研究 (2015年)
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更新时间：2024-06-03 01:04:32
工程技术 论文
利用多弧离子镀技术,在乙炔和氮气环境下,设定不同沉积温度(150 ℃、250 ℃、350 ℃、450 ℃),在316L不锈钢及单晶硅片上沉积CrCN涂层,通过XRD、XPS、SEM、纳米压痕仪和UMT-3多功能摩擦磨损试验机等涂层的微观结构、力学性能和摩擦学性能进行表征.结果表明:随着沉积温度的升高,CrCN涂层的硬度和模量呈现出递增的趋势,在沉积温度为450℃时达到最高,分别为24 GPa和354 GPa;摩擦系数和磨损率则呈现出先递减后递增的趋势,在沉积温度为350℃时达到最低,摩擦系数在大气和水环境