离子束蚀刻固体表面形貌发展研究 (1989年)

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文件名称：离子束蚀刻固体表面形貌发展研究 (1989年)
文件大小：710KB
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更新时间：2021-06-18 07:03:43
自然科学 论文 本文导出了离子束蚀刻固体表面形貌发展的一般方程,利用非线性方程的特征曲线解法,建立了离子束蚀刻固体表面形貌发展的三维理论,并由该理论导出了Carter等人的二维理论。