基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究 (2007年)

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文件名称：基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究 (2007年)

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更新时间：2024-07-02 03:14:49

工程技术 论文

设计了一种基于压电陶瓷驱动的整体式柔顺精密定位平台。建立了柔性铰链的刚度矩阵，给出了平台的理论分析模型；利用模糊自整定PID控制算法对压电陶瓷驱动器进行了闭环控制，提高了驱动器的输出位移精度；提出了一种实验修正方法，提高了平台的定位精度。实验结果表明，平台具有亚微米级的定位精度以及良好的动态特性。