压电超精密定位台的动态迟滞建模研究.pdf

【文件属性】：
文件名称：压电超精密定位台的动态迟滞建模研究.pdf
文件大小：4.66MB
文件格式：PDF
更新时间：2022-10-10 05:03:55
论文研究 压电超精密定位台的动态迟滞建模研究.pdf,为了提高压电超精密定位台的建模精度，采用Backlash Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性，采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识Backlash Like模型的参数，并结合压电超精密定位台的动态特性，建立了压电超精密定位台的二阶动态迟滞模型。通过实验得到，对比Backlash Like模型,动态迟滞模型在频率为30和40 Hz时，最大输出位移误差由1.21和1.39 μm下降到0.32和0.44 μm,且最大相对误差分别仅为3.5%和4.4%，平均位移误差由0.53和0.76 μm下降到0.17和0.21 μm，平均相对误差由1.93%和3.38%下降到1.11%和1.37%。实验结果验证了提出的动态迟滞模型，既能减小了因压电超精密定位台的动态特性而引起的系统误差，又能很好地模拟其迟滞特性与动态特性，并且避免了不同频率下的模型参数反复辨识问题，提高了压电超精密定位台在高频、快速、大行程定位中的精度。该方法简单且适应性强，易于工程实现。