文件名称：多弧离子镀CrN薄膜的制备与表征 (2007年)
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更新时间：2024-06-11 08:25:03
工程技术 论文
应用多弧离子镀膜技术在65Mn钢基体上制备CrN薄膜，通过Nanohardness-tester、SEM、EDX和XRD测试分析了薄膜的硬度、厚度、成分结构和表面形貌。得到薄膜的最高硬度为24 GPa，最大厚度为2.06 μm。通过正交实验分析得到各因素对薄膜硬度影响程度的主次顺序是：偏压、氮气、氩气、弧流，对薄膜厚度影响程度的主次顺序是：弧流、氮气、偏压、氩气。