一种新型MEMS倾角仪的设计及测试 (2009年)

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文件名称：一种新型MEMS倾角仪的设计及测试 (2009年)
文件大小：1.16MB
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更新时间：2021-05-13 16:20:11
工程技术 论文 设计了一种新结构的 MEMS( Micro Electro-Mechanical Systems)倾角仪,该倾角仪基于压阻测量,采用 SOI工艺和后续加工完成 。描述了该 MEMS倾角仪的设计、测试及其角度解算方法 。进行了角度测试实验,结果证明了解算值与实际值符合良好,且该倾角仪具有很高的灵敏度和 360°的测量范围 。