文件名称：一种新型MEMS惯导加速度计的设计与研究
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更新时间：2014-04-30 12:53:29
新型 MEMS 惯导加速度计
采用微机械加工技术制造出的MEMS器件不但具有体积微小化、功能集成 化的特点；而且提高了使用的可靠性，降低了成本，这对于许多高新技术领域 的发展具有重要意义。加速度传感器就是MEMS技术应用的一个重要领域之一。 MEMS惯导加速度传感器是微惯性测量组合(MIMU)的核心部件，在军用航 空和民用相关领域有重要的发展前景，研究高性能的MEMS惯导加速度计已成 为世界各国的研究热点。