硅中注入硼的扩散硅中注入硼的扩散

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文件名称：硅中注入硼的扩散硅中注入硼的扩散

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更新时间：2013-11-30 03:49:39

扩散;快速热退火;辐射损伤;Fair 理论

硼是半导体材料中最主要的杂质,而精确控制杂质浓度剖面是半导体工艺的关键问题之一. 对硼在硅中 的扩散从理论与实验的结合方面进行了系统的讨论.