多晶硅与单晶硅的扩散分析.pdf

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文件名称：多晶硅与单晶硅的扩散分析.pdf

文件大小：140KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-25 13:27:55

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多晶硅片是由很多不同的单晶硅组成，各单晶晶粒晶向不同，形状也不规则。同一晶粒内部原子排列呈周期性和有序性。多晶硅与单晶硅