多晶硅与单晶硅的扩散比较.pdf

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文件名称：多晶硅与单晶硅的扩散比较.pdf

文件大小：225KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-25 14:59:29

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摘要：相同工艺下多晶硅和单晶硅的扩散结果区别非常明显，在扩散温度较低时，多晶硅扩散后的方块电阻大于相同条件下的扩散单晶硅；在扩散温度较高时，多晶硅扩散后的方块电