垂直结构ZnO薄膜晶体管制备与工作特性 (2014年)

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文件名称：垂直结构ZnO薄膜晶体管制备与工作特性 (2014年)

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更新时间：2024-06-11 03:51:17

自然科学 论文

摘要:针对目前发表的氧化物薄膜晶体管的研究成果中，存在着驱动电压高，工作电流小的问题，制备了垂直结构的氧化辞薄膜晶体管.器件制备是以石英玻璃为衬底，采用磁控溅射