带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析* (2010年)

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文件名称：带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析* (2010年)
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更新时间：2021-05-15 15:30:14
工程技术 论文 针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应，利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件，给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法。在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上，利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关的动态响应特性，得到的阈值加速度与其落锤测试结果是一致的，从而验证了所提出的带有凸条平板压膜阻尼效应理论分析的正确性。