MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究 (2005年)

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文件名称：MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究 (2005年)
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更新时间：2021-05-06 16:18:25
工程技术 论文 对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究。从非线性修正雷诺方程出发，计入稀薄气体效应，建立微平面空气挤压理论模型，用有限差分法进行求解。研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化。研究发现，气体稀薄效应必须在理论分析模型中计入，否则，将高估空气阻尼的影响。微构件平面尺寸增大将增大挤压阻尼力，且阻尼力的增大速度大于微构件面积的增大速度。谐振频率的提高将显著增强空气阻尼效应。