MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应 (2005年) 时间:2021-05-09 03:31:59 【文件属性】: 文件名称:MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应 (2005年) 文件大小:277KB 文件格式:PDF 更新时间:2021-05-09 03:31:59 自然科学 论文 从基于微机械光电系统( MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动力学方程,给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响. 立即下载