硅各向异性腐蚀的计算机模拟* (2007年)

【文件属性】：

文件名称：硅各向异性腐蚀的计算机模拟* (2007年)

文件大小：2.96MB

文件格式：PDF

更新时间：2024-06-06 03:04:31

自然科学 论文

介绍了硅各向异性腐蚀的特点和采用的模型，分析影响硅各向异性腐蚀速率的因素，然后借助计算机MEMS CAD软件ACES和IMEE对硅在KOH溶液情况下各向异性腐蚀情况进行了模拟，其模拟结果对硅各向异性腐蚀速率的研究有一定的参考价值．