单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟.pdf

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文件名称：单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟.pdf

文件大小：368KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-25 11:53:59

LabVIEW

根据单晶硅各向异性腐蚀的特点,以晶格内部原子键密度为主要因素,温度、腐蚀液浓度等环境因素为校正因子，建立了一个新颖的硅各向