硅的各向异性腐蚀性

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文件名称：硅的各向异性腐蚀性

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更新时间：2019-01-28 06:37:25

硅 腐蚀技术

硅工艺上主要利用硅的各向异性是在腐蚀、刻蚀方面。如单晶硅与碱的各项异性腐蚀：由于各晶面原子排列密度、方式不同，导致其纵向横向的反应速率不同，从而其在纵向和横向上在相同液体、温度、时间的条件下纵向腐蚀的深度与横向腐蚀的长度不同。