论文研究-宏孔硅光电化学腐蚀光谱响应曲线测量 .pdf

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更新时间：2022-09-09 20:56:35
宏孔硅 宏孔硅光电化学腐蚀光谱响应曲线测量，王国政，兰春蕾，宏孔硅微通道阵列在光子晶体、硅微通道板、MEMS 器件等领域应用前景广阔。本文开展了宏孔硅光电化学腐蚀光谱响应特性研究，设计了�