ITO薄膜特性及发展方向 (2004年)

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文件名称：ITO薄膜特性及发展方向 (2004年)

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更新时间：2024-07-05 07:39:28

自然科学 论文

铟锡氧化物（ITO）具有一系列的独特性能，近年来引起人们广泛关注。为了把握这一发展趋势，本文结合国际发展背景，首先对近几年来我国在ITO薄膜研究领域的发展状况从结构与机理、薄膜特性以及应用三个方面给予回顾。其次，对今后的发展予以展望。