A12O3薄膜的制备方法及其在太阳电池上的应用 (2013年)

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文件名称：A12O3薄膜的制备方法及其在太阳电池上的应用 (2013年)

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更新时间：2024-06-19 11:05:55

自然科学 论文

氧化铝薄膜因对晶体硅材料具有理想的钝化效果,在晶体硅太阳电池领域被认作是一种优良的减反射材料。概述了氧化铝薄膜的钝化特性,主要制备方法等研究现状。分析认为:磁控溅射法具有成膜均匀性好、质量高、沉积速率快、成本低、易控制等诸多优势,因此该方法在太阳电池的工业化领域具有广阔的应用前景。