A1薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用.pdf

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文件名称：A1薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用.pdf

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更新时间：2022-09-25 13:37:09

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采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料. 材料沉积速率随硅烷