A1薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用.pdf 时间:2022-09-25 13:37:09 【文件属性】: 文件名称:A1薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用.pdf 文件大小:564KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-25 13:37:09 LabVIEW 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料. 材料沉积速率随硅烷 立即下载