文件名称：碳化错镀层的化学气相沉积 (2000年)
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更新时间：2024-06-09 01:10:35
自然科学 论文
碳化错是一种重要的高熔点、高强度和耐腐蚀的高温结构材料。为了进一步发展和开发利用高温气冷堆,用碳化错镀层替代碳化硅镀层制备新型的包覆燃料颗粒。采用化学气相沉积的方法,选用四氯化错、丙烯、氢和氨的反应体系,在直径为55mm的流化床沉积炉中制备碳化错镀层。为控制四氯化错粉末的流量研制了专用的送粉装置。研究表明碳化错镀层的密度随沉积温度而变化,反应气体中碳错的原子数比值和氢氨流量比值影响碳化错镀层性能和结构。在沉积温度1600℃左右,反应气体中碳错的原子数比值小于。．5和氢氨流量比值大于1.。时,可以制备出高密