梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析 (2006年)

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文件名称:梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析 (2006年)

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更新时间:2024-06-05 18:12:17

自然科学 论文

研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性。综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响;推导出开环灵敏度随温度、比力和角速度的变化关系。在一定近似条件下,得到梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差模型的形式。


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