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文件名称：不同衬底上离子束辅助沉积MoSx膜的研究 (1994年)
文件大小：308KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-23 05:07:09
自然科学 论文
利用离子束辅助技术在黄铜与20#钢衬底上进行了沉积MoSx膜的研究．对该膜在常温大气环境中的摩擦磨损特性用针一盘磨损试验进行了评价；用XRD和XPS检验了磨损前后膜的生成相、组分及Mo元素价态的变化，发现不同衬底上的MoSx 膜在磨损中出现显著不同的结晶学变化，并对这一现象作了讨论．