利用离子束辅助沉积的MoS2-Ta复合膜的特性研究* (1998年)

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文件名称：利用离子束辅助沉积的MoS2-Ta复合膜的特性研究* (1998年)
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更新时间：2021-05-23 05:12:06
自然科学 论文 利用TEM，AES，XPS和EDAX方法，对用离子柬辅助技术在多种钢基体卜沉积的MOS2-Ta复合自润滑膜的形态、结构和组成进行观察和分析发现，膜在沉积过程中已产生部分晶化，并在MoS2-Ta膜基体卜出现第二相TaS2。两个区域都具有（002），（100）和（110）取向，面间距与晶格常数都比MoS2：单晶的增大。实验表明，无论在真空或大气环境下，这种膜一开始就表现出优良的摩擦特性。其润滑持久性与耐湿抗氧化能力都远高于相同条件下沉积的纯MoS2膜。作者还从元素性质及其对复合膜形成的影响出发，讨论了两种膜摩