离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB2纳米多层膜的研究 (2011年) 时间:2021-04-27 11:36:59 【文件属性】: 文件名称:离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB2纳米多层膜的研究 (2011年) 文件大小:277KB 文件格式:PDF 更新时间:2021-04-27 11:36:59 自然科学 论文 运用离子束辅助沉积法(IBAD)制备了一系列具有不同调制比例的TiAlN/TiB2纳米多层膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕等表征手段研究了薄膜调制比例对其硬度、 立即下载