离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB2纳米多层膜的研究 (2011年)

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文件名称：离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB2纳米多层膜的研究 (2011年)

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更新时间：2024-05-17 05:23:39

自然科学 论文

运用离子束辅助沉积法（IBAD）制备了一系列具有不同调制比例的TiAlN/TiB2纳米多层膜，利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和纳米压痕等表征手段研究了薄膜调制比例对其硬度、