文件名称：硫化过程中FeS2薄膜组织结构和电学性能的变化 (2004年)
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更新时间：2024-06-07 10:22:13
工程技术 论文
采用Fe膜热硫化法在673K和773K温度下形成了FeS2多晶薄膜。分析了不同硫化时间对晶体结构、化学成分、晶粒大小、电阻率和载流子浓度的影响。673 K下硫化超过20h及773 K温度下硫化超过1h, Fe膜生成 Fes2比较充分。随硫化时间延长,673 K下硫化的薄膜晶粒直径基本保持在50 nm左右,但电阻率增大,载流子浓度下降。773 K下硫化的薄膜晶粒尺寸及电阻率均随硫化时间延长而明显增大,但载流子浓度变化不明显,通常低于 1X1025m-3的水平。