论文研究-晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究 .pdf 时间:2022-09-04 04:35:22 【文件属性】: 文件名称:论文研究-晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究 .pdf 文件大小:240KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-04 04:35:22 氧化层-氮化层-氧化层 晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究,王燕军,黄其煜,本文讲述了几种提高晶圆的高温氧化物层均匀性的方法。通过用49%高浓度的氢氟酸对晶舟清洗30分钟可以提高其均匀性从3.69%到2.24%,通过 立即下载