论文研究-晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究 .pdf

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文件名称：论文研究-晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究 .pdf

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更新时间：2022-09-04 04:35:22

氧化层-氮化层-氧化层

晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究，王燕军，黄其煜，本文讲述了几种提高晶圆的高温氧化物层均匀性的方法。通过用49%高浓度的氢氟酸对晶舟清洗30分钟可以提高其均匀性从3.69%到2.24%，通过