论文研究- 强化晶圆退火重复性的方法研究 .pdf

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更新时间：2022-09-16 19:09:08

尖峰退火

强化晶圆退火重复性的方法研究 ，李贇佳，黄其煜，超浅结制造技术是支撑超大规模集成电路进一步发展的关键技术,本文以其中的关键工艺--Spike Anneal（尖峰退火）为切入点，对激活Source/Dr