论文研究- 强化晶圆退火重复性的方法研究 .pdf 时间:2022-09-16 19:09:08 【文件属性】: 文件名称:论文研究- 强化晶圆退火重复性的方法研究 .pdf 文件大小:870KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-16 19:09:08 尖峰退火 强化晶圆退火重复性的方法研究 ,李贇佳,黄其煜,超浅结制造技术是支撑超大规模集成电路进一步发展的关键技术,本文以其中的关键工艺--Spike Anneal(尖峰退火)为切入点,对激活Source/Dr 立即下载