论文研究-具有快速光响应的ZnO紫外探测器的研制 .pdf 时间:2022-09-04 04:35:20 【文件属性】: 文件名称:论文研究-具有快速光响应的ZnO紫外探测器的研制 .pdf 文件大小:379KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-04 04:35:20 ZnO;紫外探测器 具有快速光响应的ZnO紫外探测器的研制,张景文,徐庆安,利用射频溅射装置在石英衬底上生长了具有C轴择优取向的ZnO薄膜,通过光刻、真空蒸镀Al电极等工艺,制得了具有叉指状电极的平面结构 立即下载