论文研究-具有快速光响应的ZnO紫外探测器的研制 .pdf

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文件名称：论文研究-具有快速光响应的ZnO紫外探测器的研制 .pdf

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更新时间：2022-09-04 04:35:20

ZnO;紫外探测器

具有快速光响应的ZnO紫外探测器的研制，张景文，徐庆安，利用射频溅射装置在石英衬底上生长了具有C轴择优取向的ZnO薄膜，通过光刻、真空蒸镀Al电极等工艺，制得了具有叉指状电极的平面结构