双牺牲层微测辐射热计最新研究进展* (2010年)

【文件属性】：

文件名称：双牺牲层微测辐射热计最新研究进展* (2010年)

文件大小：320KB

文件格式：PDF

更新时间：2024-05-28 20:33:07

工程技术 论文

通过改善结构，来研制更小尺寸、更高分辨率的器件，成为微测辐射热计研制的新趋势，而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层。本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果，即以Raytheon和DRS等为代表的两种做法，并从器件结构和工艺上比较了两种思路的优劣。