物理气相沉积法制备薄膜的内应力形成机理及测量方法

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文件名称：物理气相沉积法制备薄膜的内应力形成机理及测量方法

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更新时间：2016-05-22 09:08:01

PVD 薄膜 内应力

物理气相沉积法制备薄膜的内应力形成机理及测量方法