论文研究-CMOS工艺的电容湿度传感器的研究 .pdf

时间:2022-09-09 02:32:59
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更新时间:2022-09-09 02:32:59

湿度传感器

CMOS工艺的电容湿度传感器的研究,杨建红,王敬松,对与COMS工艺兼容的电容式湿度传感器的进行了分析与研究,设计了一种三明治型传感器,结合以往实验及相关的文献,对其工艺进行了改�


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