论文研究-0.13微米CMOS逻辑器件的电容微缩实现 .pdf

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文件名称：论文研究-0.13微米CMOS逻辑器件的电容微缩实现 .pdf

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更新时间：2022-09-09 13:41:12

半导体技术

0.13微米CMOS逻辑器件的电容微缩实现，宋锴焱，成中敏，本篇文章主要研究了对0.13微米CMOS逻辑器件进行90%微缩后，电容层的微缩工艺的实现；在0.13微米平台的基础上对介电层的沉积厚度以及介