文件名称：溶胶-凝胶提拉法制备ITO透明导电膜 (2005年)
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更新时间：2024-06-14 01:23:28
工程技术 论文
采用溶胶-凝胶( solgel)法,利用自制的提拉实验设备于石英玻璃片上制得了ITO(indium tin oxide)透明导电薄膜,并就薄膜的物相结构、微观组织、导电性能及透光性等进行了研究分析。结果表明:薄膜的方电阻和透光性与提拉速度、提拉次数、热处理温度、冷却方式及Sn原子掺杂量等因素有关。当Sn原子掺杂量为 12.5%(质量分数)、提拉速度为80 mm/ min、经5次提拉且每次提拉后经550℃热处理(炉外空冷)而最终制得的 ITO薄膜的方电阻为110 Ω/口,透光率可达90％以上。用溶胶-凝胶法