论文研究-电迁移测试结构对超厚金属层电迁移测试结果的影响 .pdf

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文件名称：论文研究-电迁移测试结构对超厚金属层电迁移测试结果的影响 .pdf

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更新时间：2022-09-04 05:06:50

集成电路

电迁移测试结构对超厚金属层电迁移测试结果的影响，唐文婷，于赫薇，通过重新设计电迁移测试结构的引线，将超厚金属层的应力电流流经引线时，进行分流；同时依照回流效应，设计分流结构的长度，减少